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微電子行業中的等離子表面處理技術應用

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發布日期:2019-11-19 09:14【
文章導讀:在微電子行業的生產制造流程當中,等離子表面處理技術現已逐漸成為了一類必不可少的工藝技術。用來處理微電子元器件表面的有機污染物和氧化層,今天普樂斯就與大家探討等離子體處理技術在微電子領域中的應用。
在微電子行業的生產制造流程當中,等離子表面處理技術現已逐漸成為了一類必不可少的工藝技術。而等離子表面處理設備則可以稱為是集合等離子處理技術的一種工藝設備,在微電子、汽車制造等領域內,業內人士常稱之為“等離子清洗機”,隨著工藝技術的發展,等離子處理設備的應用也越來越廣泛,等離子處理技術也慢慢被大眾所熟知。今天我們就與大家交流一下,在微電子行業內等離子表面處理技術的應用,如果您在生產制造過程中有遇到問題,希望本篇文章對您有所幫助。
微電子行業中的等離子表面處理技術應用-普樂斯
在經過機械清洗、水洗與溶劑清洗等傳統的清洗方式后,您是否發現了這樣的清洗并不徹底,所處理的材料表面仍會存在幾納米至幾十納米之間厚度的殘留,影響器件焊接、粘附等性能。以往的工藝要求并不嚴格,對產品可靠性要求也不高,行業生產中是允許一定清洗殘留的,但隨著精密性、可靠性要求的逐漸提高,越來越多的微電子生產制造企業都尋求新的表面清洗方式,而等離子體表面處理技術就能夠實現器件表面的超潔凈、徹底清洗,提高產品的可靠性、提升產品良率、降低生產成本。
 
從污染物的來源來看,微電子器件的表面污染物主要包括外來分子附著;器件表面與環境接觸而自然形成的氧化層兩種。 等離子清洗機的表面處理技術就能夠有效處理這兩種類型的表面污染物,而在處理過程中需要先選擇合適的工藝氣體。在電子元器件表面處理過程中,較為常見的是氧氣與氬氣。那么氧氣等離子清洗設備與氬氣等離子清洗設備是如何實現有效清洗的呢?
微電子行業中的等離子表面處理技術應用-普樂斯等離子清洗機
1). 氧氣在交變電場的作用下能夠發生電離,從而形成大量含氧的活性基團,這些基團能夠對元器件表面的有機污染物實現有效去除,同時也會將基團吸附在元器件表面,有效提升元器件的結合性 ,如微電子封裝工藝技術中,塑封前的進行等離子處理也是一種典型應用。經過等離子處理的元器件表面具有更高的表面能,能夠實現其與塑封料的結合,減少塑封工藝技術中分層、針孔等現象的產生。
 
2). 氬氣可形成氬離子,并可以利用材料表面生成的自偏壓對材料進行濺射,消除表面吸附的外來分子并能夠有效去除表面金屬氧化物 。在微電子打線前的進行等離子處理是一種比較典型的工藝。如經過等離子體處理后的焊盤表面,清除了有機污染物和氧化物,能夠有效提高打線和焊線時的可靠性,提高良率。
 
在等離子工藝技術過程中,除工藝技術氣體的選擇,等離子電源、電極結構、反應壓力等多種因素均會對處理效果產生不同的影響。

普樂斯電子9年專注研制等離子清洗機,等離子表面處理設備,已通過ISO9001質量體系和歐盟CE認證,為電子、半導體、汽車、yi療等領域的客戶提供清洗,活化,刻蝕,涂覆的等離子表面處理解決方案。如果您想要了解更多關于產品的詳細內容或在設備使用中有疑問,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統一服務熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電! 

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